| 仪器名称： | 离子束刻蚀机 |
| 仪器编号： | 07001234 |
| 产地： | 中国 |
| 生产厂家： | 北京埃德万斯公司 |
| 型号： | LKJ-ID-150 |
| 出厂日期： | 200608 |
| 购置日期： | 200701 |
| 所属单位： | 物理系>离子束刻蚀实验室 |
| 放置地点： | 理科楼C-207 |
| 固定电话： | 62772764 |
| 固定手机： | 13552113513 |
| 固定email： | jianglinan@tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | |
| 分类标签： | 离子束 刻蚀 干法 干刻 离子束刻蚀 微纳加工 |
| 技术指标： | Ar+离子能量可调范围：0~1000eV； |
| 知名用户： | 清华大学物理系超导电子学实验室及物理系其他有离子束干法刻蚀相关需求实验室，清华大学微电子所等 |
| 技术团队： | 属于清华大学物理系和低维量子物理国家重点实验室，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业实验员。 |
| 功能特色： | 离子束刻蚀机配置高性能的离子源，可在不同离子能量条件下，获取相对较大束流能力、较大束流平度、较小束散角和较高束流稳定度，采用抗热变形平面双Mo栅自对准安装式离子光学系统，配置专用六组合高可靠性、高稳定性离子源电源，具备适应离子源动态负载变化的优良特性，离子源工作参数调整采用5旋钮电控方法可快速完成操作过程。离子源采用插装式源体结构、快速插接式主阴极组件、源体内装浸没式中和器和源体非直接水冷式结构，具有结构稳定性高和良好的重复一致性。 |
样品要求：
具体刻蚀样品成分与实验步骤需提交纸质文字材料给仪器管理员，待取得管理员同意后方可上机操作。
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 离子束刻蚀 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 240.0 |