半导体材料与器件分析检测技术培训班：推动行业发展培养专业人才

　　2024年7月17日，由中国科学院人事局资助、中国科学院上海硅酸盐研究所主办、上海无机非金属材料分析测试专业平台和上海材料与制造大型仪器区域中心协办的“半导体材料与器件分析检测技术”培训班在上海举办。分析测试百科网作为本次培训班的支持媒体进行会议报道。

“半导体材料与器件分析检测技术”培训班参会人员合影

中国科学院上海硅酸盐研究所人力资源处处长 贺天厚

　　活动伊始，中国科学院上海硅酸盐研究所人力资源处处长贺天厚首先对所有受邀参加的领导、老师和学员们的到来表示热烈欢迎，对中国科学院人事局、上海无机非金属材料分析测试专业平台和上海材料与制造大型仪器区域中心等单位的支持表示感谢。

　　上海硅酸盐研究所正在组建关键陶瓷材料全国重点实验室，面向航空航天、半导体等领域尖端技术变革对先进陶瓷提出高要求，开展先进材料的复杂结构与极端尺寸、极限服役条件和新结构新功能新机制研究。半导体材料生产工艺复杂，设备精密度要求高，对材料纯度、制造精度等都提出极高要求，而这也给材料、器件的分析检测技术带来了巨大的挑战。

　　中国科学院上海硅酸盐研究所主办本次培训班，邀请本领域专家，采取专题讲座、专项技术培训、现场参观和实践技能交流等方式，研讨半导体材料与器件的分析检测技术，使学员们掌握该技术领域的新技能与新方法，提高科学实验技能和仪器装备的使用效能。此次培训班通知一经发出，收到全国各地相关单位的积极响应，经遴选，共有来自全国各地55家单位的近120名学员参加此次培训班。最后，贺天厚处长期望全体学员能珍惜难得的学习机会，在这次培训中学有所获，并将学习成果应用到实际工作中，共同推进半导体行业的发展。

中国半导体行业协会副理事长、上海市集成电路行业协会秘书长 郭奕武

　　中国半导体行业协会副理事长、上海市集成电路行业协会秘书长郭奕武致欢迎词，对培训班的成功开班表示热烈祝贺。

　　当前，我国在集成电路领域面临着诸多挑战，尤其是在材料技术方面存在技术瓶颈。郭奕武强调了国家对半导体产业发展的重视，并强调了通过自主创新实现技术突破和产业自主可控的重要性。他认为，这次培训班的召开非常及时，将为集成电路产业的发展注入新动力。

　　郭奕武介绍了中国科学院上海硅酸盐研究所在材料科学研究领域取得的显著成就，并期待该研究所在未来工作中继续发挥重要作用，为半导体产业的发展做出更大的贡献。

　　郭奕武带来了题为“新时期中国集成电路产业创新发展探讨”的培训报告，首先对中国集成电路产业的发展历程进行了回顾。从20世纪50年代开始，我国逐步建立起完整的产业链，包括设计、制造、封测等各个环节都在过去十几年的快速发展中不断提升。

　　郭奕武指出中国在高端技术领域的短板，特别是在先进制程技术、关键设备和材料上的依赖。此外，他还分析了当前国际形势对中国集成电路产业的冲击，特别是美国对中国的技术限制和市场准入限制。

　　郭奕武强调了自主创新的重要性，建议加强基础与应用研究，提升产业链的自主可控性；提倡科技创新与产业创新的深度融合，推动科技成果转化，提升产业竞争力。人才是产业发展的根本，建议加强教育和培训，吸引更多高端人才投身产业发展。

中国科学院上海硅酸盐研究所 汪正研究员

　　本次培训班的发起人、中国科学院上海硅酸盐研究所汪正研究员带来了题为“等离子体质谱在半导体用高纯材料的分析研究”的培训报告，他强调了ICP-MS技术在检测和分析半导体材料中的重要性，尤其是在当前集成电路产业快速发展的背景下。

　　半导体材料对纯度要求极高，通常需要检测到ppb甚至ppt级别的元素含量。半导体材料样品处理复杂，需要精确控制样品制备和分析过程，以避免污染和交叉污染。

　　ICP-MS是一种高灵敏度的元素分析技术，通过将样品转化为等离子态，然后利用质谱仪进行元素检测。ICP-MS能够检测半导体材料中的多种元素，包括金属、非金属和稀土元素。汪正研究员详细阐述了半导体材料样品制备过程中的关键步骤，包括样品溶解、稀释和预处理，以确保分析结果的准确性；并讨论了ICP-MS分析中常见的干扰问题及其解决方案，如光谱干扰和基体效应；分享了多个实验案例，通过ICP-MS技术检测半导体材料中的微量元素，并展示了ICP-MS在分析高纯硅材料中的应用。

　　随着技术进步，ICP-MS在灵敏度、准确性和检测范围方面不断提升。ICP-MS技术的应用领域也将不断拓展，覆盖从传统的元素分析到材料表征、表面分析等。

厦门大学半导体特聘专家 陈登云博士

　　厦门大学半导体特聘专家陈登云博士带来了题为“电子特气杂质在线分析整体解决方案”的培训报告，阐述了特气杂质分析的重要性及其面临的挑战。

　　在半导体生产中，控制污染对于保证产品质量和生产线盈利具有决定性作用。陈登云博士详细阐述了从手工操作到自动化在线检测的半导体生产演变，并探讨了这一演变过程中遇到的技术挑战及其解决方案。他还讨论了在半导体生产中识别和控制污染源的重要性，包括颗粒物、有机分子等。

　　在线分析特气杂质的技术，如VBD、ICP-MS等高精度检测技术，在特气杂质分析中极其重要。这些技术能显著提高检测的灵敏度和准确性。陈登云博士还强调了在处理高纯度气体和进行杂质分析时，安全措施和操作人员的经验至关重要。他通过具体的生产实践案例，展示了特气杂质在线分析技术在实际生产中的应用效果及其潜在问题。

珀金埃尔默股份有限公司应用工程师 徐俊俊

　　珀金埃尔默股份有限公司应用工程师徐俊俊带来了题为“PerkinElmer ICP-MS在半导体材料元素杂质检测中的解决方案”的演讲报告。

　　半导体行业对材料纯度要求极高，这就使得杂质元素的检测至关重要。在半导体材料的检测过程中，检测低浓度杂质元素是一项技术挑战，涉及样品前处理、干扰消除和提高检测灵敏度等方面。

　　徐俊俊详细阐述了多种杂质元素检测方案，包括利用ICP-MS技术进行元素杂质分析，并分享了珀金埃尔默ICP-MS仪器在检测中的高分辨率和反应模式等优势。此外，徐俊俊强调了样品前处理的重要性及其在检测中的关键作用，并探讨了如何在稀释、消解等前处理步骤中减少干扰。

联仕（苏州）新材料有限公司QC经理 张啸虎

　　联仕（苏州）新材料有限公司QC经理张啸虎带来了题为“ICP-MS 在湿电子化学品与硅基特气上的应用”的演讲报告。

　　半导体材料和器件的分析检测非常重要，尤其是在芯片制造过程中对高纯度材料的需求。张啸虎强调了在检测过程中识别和分析高纯度材料中的微量杂质的重要性，以及如何确保这些杂质不会对最终产品的质量产生负面影响。他详细讲解了ICP-MS技术在湿电子化学品和硅基特气检测中的应用，并强调了其在提高检测精度和灵敏度方面的作用。

　　张啸虎在报告中还讨论了在检测过程中可能遇到的干扰问题，并介绍了如何利用标准加入法等技术来消除这些干扰。最后，他对半导体材料检测技术的未来发展进行了展望和讨论，包括对高精度检测设备的需求以及新材料检测的挑战。

“半导体材料与器件分析检测技术”培训班现场

　　本次“半导体材料与器件分析检测技术”培训班不仅为从事半导体、电子/电气相关研究人员和分析工作者提供了一个学习和交流的平台，还通过业内专家学者的深入讲解和丰富的案例分享，让学员们对半导体材料的分析检测技术有了更深入的理解，对提升自身的专业技能和解决实际工作中的问题有了更明确的方向。