半自动探针台的技术指标

　　支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4个SMU接口，可同时输出（测量）四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 测量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。