双波长激光器造就无需紫外光的光刻技术

　　【导语】计算机芯片中采用光刻技术创建图片来存储信息，光刻技术中紫外光和图片大小有成正比关系，紫外光波长越短，图片越小，短波紫外光条件非常苛刻而且昂贵。近期，John Fourkas，来自美国马里兰大学化学与生命科学学院的化学与生物化学教授，和他的研究小组已经研发出一种新型台式仪器——RAPID光刻仪(通过光致钝化增强分辨率)，使无需使用紫外线制作微型图片成为可能。

　　图片说明：RAPID光刻仪——John Fourkas及其研究组研发出的技术可创建比人头发丝小2500倍的图片。

　　制作微型图片的能力，对于计算机芯片的制造和纳米技术其它许多现行的有潜力的应用来说，是非常必要的。然而，通过常用的称为光刻技术的工艺制造较小的图片，需要使用紫外光，因此从事此项研究就非常困难而且昂贵。

　　John Fourkas，来自美国马里兰大学化学与生命科学学院的化学与生物化学教授，和他的研究小组已经研发出一种新型台式仪器——RAPID光刻仪(通过光致钝化增强分辨率)，使无需使用紫外线而制作微型图片成为可能。

　　这项研究将刊登在科学杂志2009年4月9日的科学快讯栏目中。

　　光刻技术是使用光存储或删除信息，在介质层面上创建图片。通常所采用的光的波长与创建图片的尺寸成正比关系。因此，纳米加工技术依赖短波紫外线产生较小的图像。

　　“RAPID光刻仪——我们所研发出的，能够创建比采用的光波长小20倍的图片，” Fourkas博士解释说，“这意味着，它简化了纳米加工进程。我们期待RAPID可以应用在许多领域诸如电子、光学、生物医学设备等。”

　　“如果你最近几年在牙医那用填补材料补过牙齿，” Fourkas说，“你应该已经看到，一种粘稠液体从洞中喷射，然后使用一束蓝色的光固化。一个类似于光固化的过程，是RAPID的第一组成元素。现在想象，你的牙医使用第二个光源塑造填充物并阻止它在某些地方硬化。我们已经开发出一种方法，即采用用第二种光源进行塑造，且可以创建比人类头发丝细2500倍的图片。”

　　Fourkas和他的研究组使用的两个激光光源是同种颜色，唯一的区别是，用于加固材料的激光产生短时间光猝发，而用于防止硬化的激光是连续不断的。第二个激光束也通过了特殊的光学装置，便于进行目标形状的塑造。

　　“事实上满足RAPID中的连续不断的激光的条件特别容易达到，” Fourkas说，“因为不必控制两个不同脉冲激光器的时间。”

　　Fourkas和他的研究小组目前正在努力改善RAPID光刻技术，他们认为将有可能创造出的图片大小将是他们目前创建图片大小的一半。

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