国产出货量第一中科仪北交所IPO获受理拟募资8.25亿元

　　6月30日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称“中科仪”）的北交所IPO申请获受理。

　　本次公司计划募资8.25亿元，投向干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。

　　作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，中科仪是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军，是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，也是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，以及唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控和供应链安全。

　　中科仪的主要产品包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。

　　截至目前，中科仪各类干式真空泵的出货量已累计超过4万台，其中集成电路领域出货量超2.5万台。

　　根据市场预计数据测算，2024年中科仪干式真空泵在集成电路领域国内市占率约为12.72%，打破欧美及日本企业在国内市场的长期垄断。国内主要同行业企业尚处于小批量导入阶段。

　　其集成电路企业客户数量已超过100家，包括中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、晶合集成、华润微、上海积塔、广州粤芯、青岛芯恩等国内主流晶圆厂，以及北方华创、拓荆科技、中微公司等国内领先半导体设备制造企业，且产品已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。

　　截至2024年末，中科仪分别持有拓荆科技1.54%股份、中科信息0.80%股份，公允价值合计7.35亿元，占中科仪期末资产总额的比例为25.20%。

　　中科仪于2014年7月16日在全国中小企业股份转让系统（新三板）挂牌上市，2020年曾向上交所提交了科创板IPO申请，但随后在2021年5月主动撤回。目前中科仪最新市值为74亿元。

　　财务数据显示，2022年至2024年中科仪实现营业收入分别为6.98亿元、8.52亿元、10.82亿元；对应净利润分别为4.98元、6亿元、1.93亿元。

　　从本次具体募投项目来看，干式真空泵产业化建设项目投资总额7亿元，拟使用募集资金2.31亿元，建设周期为4年；该项目将提升公司干式真空泵的生产能力，形成年产20040台干式真空泵的生产能力；目前，项目已经完成土地购置、部分厂房及产线建设、部分设备购置。

　　中科仪认为，在集成电路产业的晶圆制造生产线种类众多的专用装备中，70%左右都需要在真空的工艺环境生产组装。出于环保、效率以及真空度的考虑，结合集成电路对真空系统特有的清洁、无油、耐腐蚀的要求，干式真空泵成为集成电路行业的首选真空获得设备，可以极大的提高产品性能和质量。

　　“因此本项目所生产的干式真空泵设备将成为公司扩大业务规模的重要机遇，是公司在行业中保持竞争优势的必然要求。”中科仪在招股书中谈到。

　　本次募投的另一个项目是建设高端半导体设备扩产及研发中心，拟使用募集资金4.74亿元。据介绍，该项目拟建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，引入自动化生产设备和先进的研发测试仪器，旨在提高公司在高端半导体设备领域的技术水平和生产能力。项目所生产的H系列干式真空泵是集成电路设备中的重要配套设备之一，广泛用于刻蚀、PVD、CVD等集成电路制造部分工艺中等。同时，项目也将扩产少量涡旋泵，主要用于科研、工业、医药等领域。

　　新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目拟使用募集资金1.21亿元，建设周期为3年。该项目将针对半导体领域研发超高速节能泵、超高温泵等新一代干式真空泵产品，同时面向泛半导体、工业真空、仪器制造、科学研究等市场开发大抽速干式螺杆真空泵及罗茨螺杆真空泵机组。