在国家重大研究计划课题支持下，国家纳米科学中心开展的纳米台阶标准研制工作已取得重要进展。
经国家质量监督检验检疫总局发文(国质检量[2011]168号和[2011]339号)批准，中心已获得5个系列纳米台阶高度国家一级标准物质证书及计量器具许可证。该系列标准由纳米中心刘前、王奇、郭延军、李晓军等与中国计量科学研究院经过5年的通力合作完成，是国家首次批准的物理量纳米标准物质。
该标准物质采用了计量型原子力显微镜进行绝对法定值，定值结果直接溯源至激光波长国家基准，定值数据准确可靠，不确定度达到国际先进水平，填补了国家空白，为我国探针型设备，如扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪、轮廓仪等，提供了从纳米到微米尺度的校准用标准物质，并能为这些设备所在实验室的检测结果比对及溯源提供依据，对满足国内半导体、微电子行业应用需求，及推动我国微纳米科学技术的发展具有重要意义。
| 名称 | 编号 | 标准值(nm) | 相对不确定度(%) |
| 纳米台阶高度标准物质 | GBW13950 | 100 | 1.8 |
| 纳米台阶高度标准物质 | GBW13951 | 200 | 1.2 |
| 纳米台阶高度标准物质 | GBW13952 | 50 | 2.8 |
| 纳米台阶高度标准物质 | GBW13953 | 500 | 0.8 |
| 纳米台阶高度标准物质 | GBW13954 | 1000 | 0. |
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