场发射扫描电镜的性能特点

（1)分辨率高

在场发射扫描电镜中，人们最感兴趣的信号是二次电子和背散射电子，这两种信号的发射强度随着样品表面的形貌和化学成分而变化。二次电子产区限于入射电子束射人样品的附近区域，从而获得相当高的形貌分辨率，场发射扫描电镜（FESEM)的图像分辨率已经优于1nm，为纳米和亚微米尺度的研究提供了极大的便利。这类电镜属于场发射扫描电镜的高端产品。

(2)放大倍率宽

放大倍率与分辨率密切相关，为了获得高分辨率图像，必须使用高放大倍率。光镜放大倍率有限，最高到1500倍，透射电镜放大倍率可以高达100万倍、扫描电镜放大倍率范围可以从几倍至几十万倍，三种显微镜的放大倍率成为一个系列。在扫描电镜中，利用低倍观察样品的全貌，利用高倍研究样品的微观细节。操作时放大倍率连续可调，使用非常方便。低倍图像有光镜图像的特点，扫描电镜图像比较直观，容易解释。高倍图像可以与相应的透射电镜图像相比对。

（3）三维立体效果好

光镜和透射电镜图像景深小，只能观察样品某个平面，在深度方向上是模糊的。扫描电镜图像景深大，有的电镜在电子光学系统上经过特殊设计，可以提供几十毫米的景深范围，即一张场发射扫描电镜像不仅在X，Y两个方向上的细节清晰，而且在图像深度方向也很清楚。一幅两维图像，可以提供三维信息，使人们获得更多的微观信息量，适用于表面粗糙样品的观察，例如：金属材料断口、颗粒样品的三维形态分析。利用扫描电镜样品台的同轴心倾斜，可以获得样品的立体图像对(Stereo pairs)，经合成后，变成立体图像，使用图像分析软件可以准确测量深度方向的数据，这是扫描电镜独特的性能。