仪器类别： 0304070201 /仪器仪表 /光学仪器 /电子光学及离子光学仪器 /扫描式电子显微镜
指标信息： 二次电子成像，背散射成像，阴极荧光成像；分辨率：高真空：30KV时，为1.5nm；
1KV时，为3nm； X射线能谱分析：能量分辨150eV；元素分析范围B－U；高性能阴极荧光：具有对特定波长光谱分析与成像（指定波长光谱面分布）的能力，波长分辨率优于30nm，测试的波长范围是200nm－900nm。
附件信息： 冷却台、加热台、X射线能谱、高性能阴极荧光探头等附件。,
