碳化硅晶体作为第三代半导体材料的代表,在电子电力器件、高亮度发光二级管等节能环保领域有着广泛的应用前景。然而碳化硅晶体制备存在成本高、能效低等问题,限制了碳化硅晶体在民用领域的大规模应用。
中国科学院上海硅酸盐研究所碳化硅晶体项目部借鉴上海硅酸盐所发明的多坩埚下降晶体制备技术,在对气相输运与沉积基本科学技术原理深入认识的基础上,发明了多头物理气相输运技术,成功实现单炉次制备多个碳化硅晶体,所得晶体的一致性、重复性和稳定性有明显提升。采用多头物理气相输运技术使晶体制备效率提高至传统制备技术的300%以上,制备成本则降低至原来的40%以下,有望实现低成本、高效率碳化硅晶体制备,有效推动其在民用领域的大规模应用。
多头物理气相输运技术碳化硅晶体制备过程
中国科学院上海微系统与信息技术研究所在集成光量子芯片研究方面取得进展。该研究采用“搭积木”式混合集成策略,将III-V族半导体量子点光源与CMOS工艺兼容的碳化硅(4H-SiC)光子芯片异质集成,构建......
记者从哈尔滨工业大学(深圳)获悉,该校集成电路学院教授宋清海、周宇团队在碳化硅集成光量子纠缠器件领域取得新突破,将进一步推进集成光量子信息技术在量子网络和量子传感领域的应用。相关研究成果于近日发表在《......
摆脱化学电池的寿命衰减困扰,性能不受温度等多种因素影响,理论上可使用上千年……9月23日,记者从苏州大学获悉,该校王殳凹教授、王亚星教授团队联合国内相关院校,提出了一种基于“内置能量转换器”的锕系微型......
人工智能(AI)工具正成为高校院所广大一线科研工作者的科研“搭子”。8月8日,《中国科学报》从科大讯飞获悉,由该公司推出的“星火科研助手”目前已普遍落地国内科研院所,注册使用者已覆盖全国1000多所高......
反应烧结后的4米碳化硅反射镜坯。4米高温真空烧结炉。铣磨后的4米碳化硅反射镜。4米磁流变抛光装备。镀膜后的4米碳化硅反射镜。4米磁控溅射镀膜机。多功能立式光学检测装备。长春光机所供图■本报记者温才妃中......
“要么做真正原创性的基础研究,要么做意义重大、促进产业发展的研究,不能做一些两不靠的工作,这些意义不大,我们的理想是两者兼顾。”这是中国科学院物理研究所研究员陈小龙一直以来所坚守的信念。陈小龙长期从事......
以碳化硅、氮化镓为代表的宽禁带半导体材料,被称为“未来电子产业基石”。近日,上交所科创板新质生产力行业沙龙第二期聚焦第三代半导体产业领域,汇聚华润微、芯联集成、天岳先进等3家半导体头部企业,及多家证券......
在新能源汽车、光伏、储能等市场持续推动下,国产碳化硅产业商业化持续推进,获得国际功率半导体巨头青睐和结盟,积极追赶更为先进的8英寸工艺节点,碳化硅产品价格有望步入“甜蜜点”。另一方面,碳化硅产业呈现跑......
5月3日,北京天科合达半导体股份有限公司(以下简称天科合达)与英飞凌公司签订了一份长期供货协议,天科合达将为英飞凌供应用于生产碳化硅(SiC)半导体的6英寸碳化硅材料,其供应量占英飞凌未来长期预测需求......
中国科学技术大学郭光灿院士团队在碳化硅色心高压量子精密测量研究中取得重要进展。该团队李传锋、许金时、王俊峰等与中科院合肥物质科学研究院固体物理研究所高压团队研究员刘晓迪等合作,在国际上首次实现了基于碳......