多通道石英晶体监测仪采用了rs-232接口和windows?窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1?/s 还是0.01?/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。sqm160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。