| 仪器名称： | 大功率探针台-MPI TS2000HP |
| 仪器编号： | 22013848 |
| 产地： | 中国台湾 |
| 生产厂家： | MPI CORPORATION |
| 型号： | TS2000-HP |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2022-08-12 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>高精尖 |
| 放置地点： | 荷清大厦A座一层实验室 |
| 固定电话： | 010-62799552-1168 |
| 固定手机： | 13910754014 |
| 固定email： | xugao@mail.tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | 杨建涛（010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 集成电路 |
| 技术指标： | 1. 测试最大电压：10KV 2. 测试最大电流：100A 3. 测试wafer尺寸：4/6/8寸wafer及碎片 4. 测试环境：-60℃~300℃ 5. 支持测试类型： 功率半导体器件(如Power MOSFET、IGBT、SiC等)特性分析与测试； 可测量栅电荷Qg、电流崩塌等动态参数； 6. 支持器件类型：水平器件/垂直器件。 7. 安全测试以及屏蔽效果： 配备电磁屏蔽腔体，可达到fA级屏蔽； 拥有红外安全防护光幕网。 |
| 知名用户： | 王敬（集成电路学院） |
| 技术团队： | 测试工作由实验室资深的工程师或者技术人员进行操作和支援。 |
| 功能特色： | 大功率探针台是大功率器件测试的配套设备，TS2000-HP使用时与功率器件分析仪连接，可以在变温环境（-60℃至300℃）下实现10000V、100A的半自动晶圆级测试 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 大功率探针台测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 500.0 |