天美成功举办日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500产品发布会

　　2012年12月6日，天美(中国)科学仪器有限公司在新的办公地点—北京市朝阳区天畅园7号楼举办了日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500发布会。这是天美公司继乔迁之喜之后，举办的第一场新品发布会，来自全国各研究院所、各大高校的电镜专家50余人参加了本次研讨会。天美(中国)科学仪器有限公司副总裁赵薇女士和日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部今田芳憲部长分别介绍了天美公司和日立公司的经营状况；日立公司电镜全球应用中心工程师振木昌成先生详细介绍了日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500的仪器性能和结构特点，天美公司应用工程师高敞先生介绍了IM4000离子研磨仪的原理和应用领域。讲座之后的现场演示生动，形象，给各位专家留下了深刻印象。

研讨会现场

天美(中国)科学仪器有限公司副总裁 赵薇女士致辞

　　天美(中国)科学仪器有限公司副总裁赵薇女士首先致辞，欢迎大家参加日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500的新品发布和技术交流。赵薇副总裁介绍了日立全新超强功能的扫描电镜SU3500的技术优势：在3KV时分辨率可以达到7个纳米，成为目前市场上钨灯丝扫描电镜中低电压分辨率最好的电镜。这款电镜拥有全新设计的电子光学系统和信号处理技术，完全不需要样品前处理，就可以直接观察和分析样品；包括3D在内的可视化便利操作，SU3500绝对可以称之为目前全球市场最高端的钨灯丝扫描电镜。

　　赵薇副总裁还介绍了天美公司近期在资本市场的发展。从2010年开始，天美集团在原有中国香港、新加坡办事机构基础上，陆续在印度、印尼、越南设立了办事处，特别值得一提的是今年成立了天美欧洲分公司。2010年以来天美公司在法国、美国、瑞士不断加大收购力度，使得天美名副其实成长为一个国际化公司。资本市场上天美公司继2004年在新加坡上市后，2011年11月在香港市场也成功上市，2012年11月天美公司搬入的新办公地点更加宽敞，Demo实验室功能性更强，更专注于为新老客户提供优质的产品和服务。

日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部 今田芳憲部长

　　随后日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部今田芳憲部长介绍了日立公司的经营方针和发展历程。

　　日立高新技术公司在发展过程中始终坚持3大经营方针。一是以顾客为第一；二是商社功能和制造业功能联合，为客户提供更大贡献；三是人和技术融合，为社会做出最大贡献，价值得到最大体现。

　　日立高新技术公司1965年成立，拥有80亿日元资本，1万多从业人员。最大股东是日立制造所。日立公司从2003年4月收购三洋公司贴片机开始，也在不断扩大公司的经验范围。目前产品覆盖工艺制造，分析仪器，半导体装载，医疗、生命化学仪器。商社功能有车载硬盘、计量装饰、工业材料、电子器件、光伏产品等。日立高新技术公司在海外27个国家设有56个办事机构，海外销售比例占58%，超过了日本本土。在中国北京、上海、深圳、广州、大连、天津、无锡、苏州、香港、台北分别建立了办事机构。

日立公司电镜全球应用中心工程师 振木昌成先生

　　振木先生详细介绍了扫描电子显微镜SU3500的四个特点：1.增强型的实时成像功能；2.低真空功能；3.用户友好界面；4.最新的多功能样品室。

      日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500

　　扫描电子显微镜 SU3500

      1.成像功能

　　SU3500所具备的新型的模拟图像和改进后的电子光学系统以及图像显示算法使之能够在低加速电压下获得更高的分辨率。3KV电压时，SE图像可达7nm,5KV电压时，BSE图像可达10nm。最新开发的自动多级电子枪偏压机构能够在不降低电子束大小的情况下，在一定范围内的常用加速电压下增加发射电流。因此，此款产品与S-3400N相比，噪音得以大幅减少，成像更加清晰。

　　通过SU3500的最新开发并优化过的图像处理方法，现在可以很容易地在快速扫描模式下观察到低噪声的图像。高速自动聚焦控制(AFC)和自动亮度及对比度控制(ABCC)的增强，使您可以缩短*2SEM(扫描电子显微镜)的观察循环时间(TAT)

　　2.低真空功能操作的优异性

　　新设计的真空程序使真空范围可以达到6-650Pa,实时真空反馈允许在用户特定的压力设定下保持样品室的快速的真空稳定性。在低真空模式下直接观察更清晰。

　　SU3500具有一个可变压力模式，允许对处于自然状态下的潮湿，油腻和非导电样品进行观察。由于正电离子是电子束撞击残余气体分子的结果，所以不需要进行传统的样品前处理，比如干燥和金属镀层。

　　新开发的超高灵敏度可变压力探测器得以进一步优化，特别是在可变压力模式下观察超薄表面的微观结构方面。通过同时观察从标准BSE探测器得到的组成图像，使得在多种应用下进行的各种各样的分析都成为可能。振木先生以铜矿物、树脂填料、水虱等图像为例真实的再现了SU3500的这项功能。

　　3.友好的用户界面

　　SU3500的用户界面使工作效率得到极大的提高。它的显示器像素为：最大1,920×1,200像素 ，采用24.1英寸宽屏显示器，提高了可视性和操作性，宽屏显示器不仅使得单一模式下的显示尺寸更大，而且还可为种用途实现多种显示模式。用户可以通过菜单操作选择单幅图像、双幅图像、四幅图像以及全屏幕图像显示。

　　单幅图像(800×600像素)的功能是便于找到视野及聚焦；双幅图像(800×600像素×2)可以同时显示不同的探测器观测到的实时SEM图像。例如，此功能对于显示超薄表面的微观结构的UVD图像和成分BSE图像非常有效；四幅图像(640×480像素×4)可以同时显示不同信号的4种实时SEM图像。例如，此功能对显示SE图像，BSE成分图像，BSE形貌图像和BSE 3D图像非常有效；全屏幕图像(1,280×960)大尺寸和高分辨率的实时图像，适合多人同时观察。信号混合功能是将同一视野内的不同信号合成到一幅画面里的功能。例如：具有样品表面微细结构信息的二次电子(SE)像和具有丰富的成分信息的背散射电子(BSE)像，通过合成可以在一幅画里同时显示样品表面的微观形貌和成分信息，更易于评价与解析。

　　显示图像的宽高有2种模式可以供选择。用户的界面可以根据用户的应用目的选择最佳的操作条件。对于SEM的初学者来说，可以在不具备任何技术知识的情况下很容易地操作。除了通过操作按钮之外，诸如聚焦，放大倍率，扫描速度，亮度自动调整以及图像都可以通过面板完成操作。嵌入式日常维护视频文件使您能正确有效的进行日常维护。

　　4.多功能样品室能容纳各种样品

　　优中心5轴马达驱动样品台主要是：1.移动X-Y，倾斜T，旋转R，Z轴(高度)控制通过轨迹球(操纵杆为选配)，鼠标和输入数值控制。2.X-Y轴移动步幅控制通过点击可以实现每一个指定距离的移动。对于观察等间隔的图形有效。3.与Z轴聚焦点联动的高度轴自动调整。即使当Z轴位置改变时，图形也将随时保持聚焦状态。4.优中心倾斜，旋转。从现在的观察位置倾斜，旋转样品时，图形不会大幅地偏离视野。5.观察位置的图形显示。此功能可把样品和物镜的相对位置在一个图形上显示出来。

　　图像导航允许操作者使用一个低倍率的SEM图像和光学范围的图像，或者数字图像(可用的文件格式是BMP,JPEG和TIFF)浏览样品寻找视野。

　　RISM：通过点击其位置，可以把感兴趣的部分移动到屏幕中心位置。ZOOM：通过拖动将感兴趣的点框起来，然后被框起来的区域将自动居中并扩大。

　　样品台移动到某抓图位置，即使选择最后拍摄的100张图像中的任何一幅，都可以重现其样品台坐标。

　　样品座/真空系统：支持多种观察的样品座：有适用于14和33(12.7毫米样品托)个样品的多用途样品座。还有为特定目的而准备的样品座。择样品托号码，按移动键即可将选好的位置移动到画面中心。

　　SU3500在真空系统的阀门上采用可靠性高的气动阀。该气动阀在遭遇意外停电时可瞬间关闭。因此可以防止主机和样品室的真空劣化。一般带有低真空功能的电镜需要2台机械泵，而SU3500则只要一台即可。

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　　发布会同期还举行了关于日立IM4000离子研磨系统的技术介绍与现场指导。日立推出的IM4000离子研磨仪既可以对样品进行氩离子截面切割，又可以进行氩离子平面研磨，是截面样品制备和平面样品无应力抛光的理想工具。

　　天美(中国)科学仪器有限公司应用工程师高敞先生介绍了日立IM4000离子研磨系统的原理特点。

      日立IM4000离子研磨系统

IM4000离子研磨仪

　　IM4000离子研磨仪的特点

　　1、 兼有平面加工和截面加工两种加工方式。

　　2、 高作业吞吐速度，提高了加工速率。

　　3、 可脱卸样品托设计，方便样品安装，可精确定位加工位置。

　　4、 样品台与日立扫描电镜通用，避免拆卸样品时引起的污染。

　　平面加工和截面加工的原理

平面加工原理

　 　平面加工的原理是使用树脂包埋样品，根据需要观察的样品位置机械研磨、抛光后得到一个比较平整的表面，再放入IM4000中旋转或者摆动研磨加工。样品 最大体积可以达到直径50mm×高度25mm，IM4000离子束的照射角度可以在0-90°之间选择，离子束加速电压在0-6KV间选择。离子束照射角 度不同会影响到加工的效果，一般选择小角度的离子束称为平坦式加工，得到的样品表面平整，适合于观察晶粒分布，对分析有利；大角度离子束照射也称为浮雕式 加工，得到的样品表面凹凸，适合观察多层架构样品的晶粒特征。

截面加工原理

　 　截面加工的原理是使用树脂包埋样品，根据需要观察的样品位置放置一块mask板，mask板用来阻挡离子束，样品上没有mask板阻挡的地方就被加工 掉。样品加工的厚度有10几个纳米到100nm，截面加工后的样品可以达到镜面加工的效果。加工过程中离子束照射角度为90°，加工电压在0-6KV间可 调。使用IM4000截面加工的样品没有分层和扭曲，以及残留物，经过电镜分析可以清晰的看到内部结构，也可以提高能谱分析的分辨率。

　　平面加工和截面加工的特点及应用领域

　　平面加工可以达到直径5mm的大加工面积，摇摆加工采用60°，90°角。既适用于清洁样品表面，也可以用于机械研磨的最终处理，能够清除抛光痕迹和残留，得到的样品表面清晰，易于观察和分析。

　 　截面加工具有很高的加工速率，可以达到300um/h，大大减少了加工时间；IM4000采用可脱卸式样品托，定位更加方便。样品台可以 在±15°、±30°、±40°调节。截面加工的应用范围也很广泛。可加工那些机械抛光无法加工的样品截面，可加工微小尺寸样品，可解析出样品中的裂缝或 者微孔，适用于观察多层结构的界面和软材料的截面制备。

　　随后高老师一边讲解IM4000的操作要领，一边演示了IM4000处理样品的过程。大家随时提问，受益匪浅。

　　高老师演示使用IM4000离子研磨仪处理样品