奥林巴斯生物显微镜——扫描电镜的组成

奥林巴斯生物显微镜从原理上讲，奥林巴斯生物显微镜的扫描电镜的照明系统与透射电镜中的相似。但不同的是扫描电镜有一些独特地要求，例如经聚光镜作用后到达样品处的电子束应是直径很细的电子探针；电子束能作扫描运动；末级聚光镜的结构应便于信号的收集等。

奥林巴斯生物显微镜的扫描电镜电子枪的高压不及透射电镜中那样高，通常设定在1—50kv。电子枪的阴极可以是热钨丝型的，但近年来已更多采用IjB6阴极，部分电镜上采用场发射枪，甚至肖特基热场发射枪。以热钨丝阴极为例，在前述加速电压下电子发射所形成的光源zui小交叉截面区直径为10一50ym。为了保证较好的分辨率，必须将它们经聚光镜多级缩小，在样品表面处形成直径为1—10nm、束流为10”一10”A的电子探针。有些工作p如电子探针微区成分分杆．要求柬流高达lo“一lo—’A．则电子探针的直径应增至o．1—1Pm。从上述要求出发，奥林巴斯生物显微镜的扫描电镜中的聚光系统常由三级电子透镜组成，使束斑缩小率可达I／5000的量级。因末级聚光镜系紧邻样品上方，且在结构设计等方面有一定特殊性，故常把它单独列出，称为物镜。但它与进射电镜中位于物样下方的物钥是不同的。