宁波材料所三维微纳结构制造最新进展

　　纳米制造技术是实现纳米结构、器件、系统生产的基础，以微纳器件制造需求或关键技术为牵引，解决微纳米制造的设计、装备、工艺以及应用等关键技术问题，是提升纳米制造技术的关键。

　　为了便于实现材料和器件在微纳尺寸下的合成或组装，实现其高度集成化和多功能化，宁波材料所许高杰研究团队利用自行研制的三维微纳结构制造系统，成功制备出不受模板限制的三维方向具有一定取向性的曲线型结构，并实现了不同节点间的互联互通，该技术对于提升大规模集成电路向三维立体方向发展(集成度)有重要意义。

　　微纳线直径可达到500nm以下，微纳线间距可小于500nm。目前研究团队采用的是单针‘直写’方式，通过程序控制，制备出预先设计好的各种直线、折线或曲线阵列，也可以采用类似3D打印技术的方式，制备出简单的3D微纳器件。目前三维微纳结构制备系统和制备技术正在进一步优化和完善当中。研究人员希望配合团队其他成员开展的3D打印材料和技术的研究，完成从小尺度的微纳结构器件到大尺寸3D产品开发的系统性工作。目前，研究人员正在通过这种微纳结构制造系统，开发微纳尺度3D打印喷头(喷嘴)的研制工作。该项研究工作的完成，将能够使3D打印技术的精度进一步提高。同时，研究团队正积极加强与国内外同行的交流合作，希望通过协同努力，加快微纳器件研究和应用推广的进程。