①由于不需要晶体及测角仪系统,检测器的位置可以紧接样品位置,接收幅度的立体角增大,检测灵敏度可提高2~3个数量级。
②不存在高次衍射谱线的干扰,可以一次同时测定样品中几乎所有的元素,分析物件不受限制。
③能量色散X射线荧光光谱仪已发展成系列仪器,有便携式或在线型、台式和通用的高性能谱仪等三种类型。类型区分主要以谱仪分辨率为基准。
④仪器操作简便,分析速度快,适合现场分析。
⑤谱仪结构紧凑,安装、使用和维修均很方便。特别是以封闭式正比计数管为探测器的谱仪,其价格便宜、重量轻、可靠,能在恶劣环境下工作,因此广泛用作现场或在线式谱仪。