X射线是指波长为0.01~10nm的电磁波,1895年伦琴(W.C.Roentgen)在使用放电管工作时发现了X射线,因为这一个重大发现,伦琴于1901年获得了诺贝尔奖。1913年莫斯莱(H.G.Moseley)建立了X射线波长与原子序数的关系,奠定了X射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence,XRF)的基础,1948年弗里德曼(H.Friedmann)和伯克斯(L.S.Birks)研制出第一台商用X射线荧光光谱仪。
随着新技术的发展,X射线在现代分析化学中得到广泛应用,除了X射线荧光光谱法外,还有X射线衍射分析,X射线光电子能谱等。