实验室分析仪器扫描俄歇微探针的基本功能和用途

 基本功能:

 (1)可进行样品表面的微区选点分析(包括点分析,线分析和面分析);

 (2)可进行深度分析;

 (3)化学价态研究

 用途:纳米薄膜材料,微电子材料的表 面和界面研究及摩擦化学研究。