实验室分析仪器扫描俄歇微探针的技术指标

检测范围:原子序数大于He的所有元素检测极限:0.1 at% 信息深度:0.5~5 nm 空间分辨率:25 nm 能量分辨率≤0.3% 半定量:相对原子灵敏度因子法。