1、真空室：由透明材料制成的能承受100kPa压力的真空容器和密封盖组成。真空容器用于盛放试验液体和试验样品；密封盖用于密封真空室。抽真空时，密封盖应能保证真空室的密闭性。
2、试样夹具：用于将试样固定在真空室内的试验液体中，其材质和形状不得对试样性能和试验观测造成影响，最好选择透明材料制成。
3、管路：包括气源连接管、与真空源相连的真空管和与大气相通的排气管。均应配有阀门控制开闭。
4、真空表：用于测量真空室内真空度，其准确度不得低于1.5级；
5、控制装置：包括抽真空开关、真空度调节装置、进气阀门等。