尘埃粒子计数器用于半导体集成电路生产洁净室

　　集成电路制造业是需要在一个超净环境中进行的，它是使用超纯材料进行超精细加工的行业。集成电路制造对洁净室环境的控制有严格的要求，不同的工艺对清洁度有不同的要求。

 　　半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物，比如无机离子、有机物质、微生物、气体杂质等等。另外，广义而言，不适当的温度、湿度、光照、静电超标、电磁噪声、空气噪声和微振动也是特殊的污染物。

　　其中，当颗粒杂质、无机离子、有机物质、微生物和气体杂质的含量超过一定限度时，集成电路产品会出现表面划伤、图形断裂、短路、针孔、脱皮等现象。导致电路泄漏和异常电气特性，轻则影响电路性能和使用寿命，重则导致电路报废。

　　通常，污染导致的电路产品故障率可能高达60%。简言之，集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关，而缺陷密度与空气中的粒子数有关。因此，随着集成电路的迅速发展，不仅对控制空气中颗粒的大小要求极高，而且对控制颗粒的数量也要求极高。同时，对超大规模集成电路生产环境中无尘车间项目的化学污染控制也有相关要求。

　　纯净度(洁净度)洁净度的理解：洁净度指洁净空气中空气含尘(包括微生物)量多少的程度。 

　　生产环境洁净：半导体器件生产环境要求很严，要求恒温、恒湿，按单位体积中规定的尺寸灰尘粒子为标准分成洁净度的等级。一般分为10级、100级、1000级、10000级、100000级。

　　检测(颗粒测试仪) 

　　1)浮游粒子洁净度的检测(颗粒测试仪)

　　采样：任何洁净区的取样点不少于2个，除受洁净区划内的设备限制外，取样点应在整个洁净区均匀分布，每个选定的取样点应至少取样一次。在一个区内总共应最少取样5次，每个取样点取样应多于一次，而不同的取样点取样次可以不同。

　　2)取样量度和取样时间：取样量不少于0.00283立方米(合0.1立方英尺)，并且计算所得取样量结果不得四舍五入。取样时间可以用取样量除以取样速率来计算。

　　由数位无尘车间行业内专家担当顾问，由多名资深内业洁净间环境研发人员组建研发团队，采用创新和高效相融合的模式，独立研发了具备自主知识产权的中邦在线环境检测系统，在制药生物/电子无尘车间等行业，我们提供无尘车间环境检测整体解决方案。在日常经营中，不断完善产品体系，服务体系，工程体系。在与客户的共同成长中，各个方面都取得了极大的进步。