简要介绍了扫描电子显微镜和X射线能谱仪的特点、制样方法和工作方式。通过铜腐蚀、锡须、硫化银以及银迁移的失效实例,阐述了带能谱分析的扫描电子显微镜在电子封装失效分析中的应用。
一、项目编号：招案2022-1675（地大编号：DDCG-20221054）二、项目名称：中国地质大学企业信息（武汉）原位X射线光电子能谱分析系统采购项目三、中标信息供应商名称：广东省中科进出口有限公......
电子能谱分析法是指采用单色光源（如X射线、紫外光）或电子束去照射样品，使样品中电子受到激发而发射出来，然后测量这些电子的产额（强度）对其能量的分布，从中获得有关信息。特点1)除氢和氦元素之外，可以分析......
8月9日，首届海峡两岸暨港澳先进电子封装关键技术论坛在深圳举行。本届论坛旨在促进先进电子封装关键技术的发展，加强企业间技术交流，共有150余名集成电路行业专家、优秀青年科学家参会，围绕集成电路先进电子......
激发而发射出来（这些自由电子带有样品表面信息），然后测量这些电子的产额（强度）对其能量的分布，从中获得有关信息的一类分析方法，广泛应用于材料表面分析技术。......
1）分析层薄，0～3nm。AES的采样深度为1～2nm，比XPS（对无机物约2nm，对高聚物≤10nm）还要浅，更适合于表面元素定性和定量分析。（2）分析元素广，除H和He外的所有元素，对轻元素敏感。......
（1）大多数元素在50~1000eV能量范围内都有产额较高的俄歇电子，它们的有效激发体积（空间分辨率）取决于入射电子束的束斑直径和俄歇电子的发射深度。（2）能够保持特征能量（没有能量损失）而逸出表面的......
俄歇电子的激发方式虽然有多种（如X射线、电子束等），但通常主要采用一次电子激发。因为电子便于产生高束流，容易聚焦和偏转。分析依据：俄歇电子的能量具有特征值，其能量特征主要由原子的种类确定，只依赖于原子......
俄歇电子的产生和俄歇电子跃迁过程：一定能量的电子束轰击固体样品表面，将样品内原子的内层电子击出，使原子处于高能的激发态。外层电子跃迁到内层的电子空位，同时以两种方式释放能量：发射特征X射线；或引起另一......
横向分辨率取决于入射束斑大小；俄歇电子来自浅层表面(电子平均自由程决定)，其信息深度为1.0-3.0nm；检测极限可达10-3单原子层（可以有效的用来研究固体表面的化学吸附和化学反应）；并且其能谱的能......
元素的定性和半定量分析（相对精度30%）；元素的深度分布分析（Ar离子束进行样品表面剥离）；元素的化学价态分析；界面分析......