平插式能谱仪是一种用于材料科学、矿山工程技术、能源科学技术领域的分析仪器，于2018年10月17日启用。
技术指标
能量分辨率：MnKa优于127eV，主能谱仪在400,000CPS内MnKa始终优于127eV。元素分析范围: B5～Cf98。谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，MnKa谱峰漂移小于1eV；48小时内谱峰漂移小于1.5eV。处理器：处理器与计算机采用分立式设计，元素面分布图分辨率4096*4096。数据库：完备的定量数据库，含K, L, M 和 N线系，可对重叠峰进行可视化谱峰剥离。扫描模式：点、区域定性、无标样有标样定量分析、线扫描和快速面扫描、定量线扫描、定量面分布、全息面分布、漂移校正、偏聚元素自动分析、相似谱图匹配检索等功能，支持面分布的谱峰剥离。
主要功能
用来对材料微区成分元素种类与含量进行分析 进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。