| 仪器名称： | 清洗系统 |
| 仪器编号： | 04009245 |
| 产地： | 台湾 |
| 生产厂家： | 弘塑科技有限公司 |
| 型号： | RCAPre |
| 出厂日期： | 200312 |
| 购置日期： | 200410 |
| 所属单位： | 物理系>纳米中心>纳米中心加工平台 |
| 放置地点： | 纳米楼超净间 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 马伟涛（010-62796022,13910326054,413113259@qq.com） 张晓丽（010-62796021,13693272562,99081318@163.com） 张立辉（010-62796022,13521214603,lhlh_zhang@163.com） |
| 分类标签： | 05080122 微纳加工 |
| 技术指标： | 配有四个溶液槽分别为：EKC、丙酮、IPA、DIW 工艺温度：70度 溶液槽容量：6.5L、6.5L、4.2L、6.5L EKC、丙酮溶液槽配有机械臂 |
| 知名用户： | 校内用户：电子系、化学系、物理系、精仪系、微电子所等；校外用户：北京大学、北京邮电大学、国家纳米中心、中科院半导体所等。 |
| 技术团队： | 属于纳米中心测试加工平台，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业的实验员，还有纳米中心厂务部门支持仪器外部的水、电、气。 |
| 功能特色： | 设备配有排风管道随时抽走挥发性的溶液 设备自动化程度高可以控制温度并且和能够监控温度 自动和手动控制每个溶液槽操作 细微调节水槽补水、放水、溢流时间 面板式按钮操作，直观易操作。 |
样品要求：
样品材料：半导体材料衬底
样品尺寸：最大可清洗4英寸衬底