徕卡体视显微镜中透镜的像差

徕卡体视显微镜中透镜的像差

前面我们讨论的是理想成像的电子光学。在一些待定的条件下，物与像之间有点一点对应和几何相似的关系。然而实际情况与理想的像有偏离，这就是伤差。我们可以根据它们不同的产生原因，用像点径向位置的偏离来作定量描述。

1.几何修差

当电子轨迹不满足倍铀条件时所形成的像差称为几何像差。已知倍轴条件归结为两点，即（一）轨迹的径向离轴位置（r）很小；（二）轨迹相对于轴的斜率或电子束对轴的倾角也很小。几何像差来自这些量并非无限小。研究指出，影响zui重要的是三级倍差，即实际像点的偏离正比于这些量的三级项者。它们是球差（正比于小）、当形差（正比于M’）、场曲和像散（正比于rz“）和畸变（正比于r3）。电镜中我们只关注第一种和第四种几何像差。

2.球差

经轴上物点发出的电子束斜率较小者，可在理想伤平面中会聚成一个点。如果透镜光闹所决定的孔径角。A1、A2一分别为像方或物方的电子柬有效孔径角（或半张角）。因为孔径角为吨的实心锥形电子束中包含有从o”蝎不同孔径角的各电子束，它会聚在不同位置处，因此在理想像点与最近透镜的像点之间的某处．必存在一zui小模糊圆。

式中各符号纳意义同式。电子光学中的球差是不可消除的。球差系数与透镜极靴的形状，焦炬等有关，故在仪器的设计中应尽量设法减小c的值。此外在使用中还可用物镜光闹扎的大小来调节束孔径角轧、从而减小球差的模糊斑。