微波振荡器是微波信号发生器的核心部件，作为本地振荡器，也是矢量网络分析仪、频谱分析仪和测试接收机的核心部件，对仪器整机性能指标有很大影响。目前，常用的产生微波振荡的有两大类，即电真空器件与固体器件。电真空器件主要包括微波电真空三极管、反射速调管、磁控管和返波管等；固体器件有晶体三极管、体效应二极管（也称耿氏二极管）和雪崩二极管等。
