| 仪器名称： | 快速退火炉 |
| 仪器编号： | 04011389 |
| 产地： | 中国 |
| 生产厂家： | 北京东之星应用物理所 |
| 型号： | RTP400 |
| 出厂日期： | 200410 |
| 购置日期： | 200411 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺 |
| 放置地点： | 微电子所新所一层微纳平台 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 曹秉军（010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 微纳加工 集成电路 半导体 快速热退火 |
| 技术指标： | 快速退火，工艺温度400～1000℃。 |
| 知名用户： | 吴华强 微电子所；许军 微电子所；陈炜 微电子所；钱鹤 微电子所；刘泽文 微电子所；岳瑞峰 微电子所； 王喆垚 微电子所；蔡坚 微电子所；邓宁 微电子所；伍晓明 微电子所 |
| 技术团队： | 曹秉军 张忠会 窦维治 |
| 功能特色： | 本设备用于半导体材料的退火，具有杂质再分布小，退火速度快，均匀性好，生产率高等优点。该设备也可以用于欧姆接触及硅化物形成、受控扩散等方面 。 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 快速退火机时费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 300.0 | |
| 快速退火送样测试费 | 元/小时 | 测试费 | 300.0 |