扫描俄歇微探针（SAM）；
基本功能：
（1）可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析）；
（2）可进行深度分析；
（3）化学价态研究
用途：
纳米薄膜材料，微电子材料的表 面和界面研究及摩擦化学研究。
