扫描电子显微镜的主要结构

扫描电子显微镜的主要结构
1.电子光学系统：电子枪；聚光镜（*、第二聚光镜和物镜）；物镜光阑。
2.扫描系统：扫描信号发生器；扫描放大控制器；扫描偏转线圈。
3.信号探测放大系统：探测二次电子、背散射电子等电子信号。
4.图象显示和记录系统：早期SEM采用显象管、照相机等。数字式SEM采用电脑系统进行图象显示和记录管理。
5.真空系统：真空度高于 10 -4 Torr 。常用：机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵。
6.电源系统：高压发生装置、高压油箱。
扫描电子显微镜，简称扫描电镜、SEM可以应用于多个领域，例如：
(1)生物：种子、花粉、细菌……
(2)医学：血球、病毒……
(3)动物：大肠、绒毛、细胞、纤维……
(4)材料：陶瓷、高分子、粉末、环氧树脂……
(5)化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥(杆菌) 、机械、电机及导电性样品，如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察……)电子材料等。