扫描电镜分析实验

一 、实验目的

1.了解扫描电子显微镜的原理、结构;

2.运用扫描电子显微镜进行样品微观形貌观察。

二、实验原理

扫描电镜(SEM)是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。由电子枪发射的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射以及背散射电子等物理信号，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。

三、实验仪器

日立S3400扫描电子显微镜(日本电子株式会社)

四、实验步骤.

1.样品的制备

2.仪器的基本操作

1)开启稳压器及水循环系统;

2)开启扫描电镜及能谱仪控制系统;

3)样品室放气，将已处理好的待测样品放入样品支架上;

4)当真空度达到要求后，在一定的加速电压下进行微观形貌的观察。