扫描电镜的校准方法

   1、二次电子像的分辨力校准
　　现有规程中规定利用碳表面喷镀金颗粒的标样，在最佳工作状态下，在一定放大倍数下拍摄金颗粒的二次电子图像，测量照片上可分辨的金颗粒边界的最小间距除以当前的放大倍数计算扫描电镜二次电子图像的分辨力。
　　但在实际校准过程中，分辨力的精确测定比较困难，一方面越接近扫描电镜极限放大倍数，金颗粒边界越模糊，界定颗粒边界非常困难，边界之间的最小距离也难以准确计算;另一方面，“可分辨”的要求人为因素影响大，很难据此获得准确的评价。
　　2、长度测量误差校准
　　现代扫描电镜均自备测量程序，可进行微纳米几何尺寸的直接测量，因此有必要评价不同放大倍数下扫描电镜长度测量的准确性。对长度测量示值误差进行校准，也可以用于实际被测样品的长度测量值进行修正，这也是国家标准中利用扫描电镜进行纳米级长度测量时的要求。可直接利用经过校准的线宽、线间距、格栅型等标准样品对扫描电镜长度测量示值误差进行校准。
　　3、X射线能谱仪的校准
　　X射线能谱仪是分析型扫描电镜必备的重要附件，其功能是进行化学元素的半定量或定量分析。规定X射线能谱仪的检验要求和检验方法，可完善分析型扫描电镜综合测量性能的评价。校准X射线能谱仪可选用国家标准物质或含量值可溯源的多元素标样，建议分别在半定量和定量分析两种使用状况下对扫描电镜的谱线分辨力、元素分析范围、定量分析误差等技术指标和检验方法予以规定。