扫描电镜简单操作流程

一、样品装载和开机：
1、样品制作、安装。（根据样品导电性强弱来判定是否镀膜）
2、打开电脑、显示器及电镜电源。
3、替换样品台，按Exchange 键，抽真空。（换样前若样品室有真空，需提前释放。）
4、开软件，双击桌面的SENSE-SEM图标,等待软件运行。

二、测试：
1~11为整个测试的操作流程，14为练习内容,可以比较样品台高度Z不同，电镜测出图片效果。Z最低，图片景深好。Z比最低点高，图片清晰度好。
1、调样品台高度，Z轴调最低点位置 ，最小值-22.0（大约）。【实际测样中样品台高度要根据样品情况来调整】
2、选合适加速电压、探测器类型及高真空模式后，点击“start”开始调试。
3、放大画面前实时图像若为白色，向右调节第一聚光透镜电流CL1。（CL2为最右端）。
4、Collector-CLT收集器、Amplifier-PMT放大器，一般调最大。
5、在实时图像模式调粗聚焦，Z为-22.0(自动平台控制盒有显示)时，W/D调为20（不同机型，W/D值有所差异），图像会清晰。Z固定一个高度时，W/D只需调一次。
6、移动样品台位置，调X/Y轴和Beam shift光束位移使样品测试部位在画面中间。
7、打开wobble功能，旋转光阑杆X/Y轴，使光阑孔对齐，图像不晃动。（SS-60无此步骤）
8、调微聚焦，画面清晰。放大需要的倍数，重复调微聚焦。
9、调Stigmation消像散，X、Y值±20%，重复调微聚焦，图像会更
清晰。（图片放大倍数小于3千-5千倍，可不用调Stigmation。）
10、适当调整Contrast对比度和 Brightness亮度。
11、Photo Mode3扫描，存储图片。
12、如需测试样品其它部位，缩小倍数，重复上述6~11步骤。
13、如需测试其它样品，先点击软件“stop”按钮，待显示出start，按设备上的Exchange键，释放真空，之后更换样品，再按Exchange 键，抽真空，重复以上1~11步骤。
14、改变样品台高度，Z轴-12，W/D调为5，图像会清晰。再重复上述6~11步骤。

三、关机：
1、点击软件“stop”按钮，停止采集图像，再关软件退出。
2、只关电镜电源，不要释放真空。（样品室真空状态，可保护钨丝不被大气氧化）
3、如果不用电脑，可以关闭电脑。
注意：
1、sense软件打开前，电镜电源需开启，SEM-PC电缆连接良好，否则会提示报错。
2、如果在第二步的2中，点击“start”前，真空需抽完，否则点击“start”无反应；点击“start”后，电子束电流值显示40~60uA，实时画面会不出图像，此时需更换新钨灯丝。
3、在实际中会需要不同倍数的图片，所以在第二步的8中，放大倍数应按需要的最大倍或更大来调整，图像调清晰后,缩小需要的倍数即可，不用再聚焦。
4、样品室内必须保持清洁，不允许有杂物、碎屑等触碰到探测器。