扫描电镜的维护保养项目

扫描电子显微镜属于高真空系统的仪器，对样品和制备和真空系统的维护都有一定的要求。各型号扫描电镜的维护都有自己不同的要求。
　　1、电子枪的维护
　　扫描电镜电子枪是有寿命的，在实验结束后，关闭电子枪，可延长电子枪的寿命。冷场发射扫描电镜电子枪需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing)，以去除所吸附的气体原子。
　　2、物镜光阑的维护
　　扫描电镜物镜的光阑离样品最近，工作状态下光阑处于加热状态，再关掉光阑后需要冷却半小时才可以关掉冷却循环水。光阑使用一段时间后容易结碳，影响成像的效果，此时要及时要打开样品室，清洁光阑。现在有些高配置的仪器光阑有自清洁功能，省去了清洁光阑的繁琐。
　　3、样品的制备要求
　　由于扫描电镜的高真空系统，样品进入交换室之前要仔细检查，确保没有易挥发的物质及未粘牢的粉末，破换样品室的真空度。对于磁性样品也不可进入样品室破坏电磁透镜系统。样品的高度要严格控制，以防止碰坏样品室的光学部件。对于生物样品要清洗、固定、脱水、干燥，镀膜后才能观察。
　　4、送样杆和交换室的清洁
　　扫描电镜送样杆和交换室在换样品时经常暴露在大气中，容易受到灰尘的污染，降低真空密闭效果，因此要及时清结，以防把灰尘带到样品室的真空系统中污染光阑。用丙酮擦干净送样杆和交换室的门以及密封圈，再在送样杆和密封圈上均匀的涂上一层真空硅脂即可。
　　5、机械泵的维护
　　经常检查扫描电镜机械泵的油液面，看其液面是否在窗口油位刻线的水平上，若在窗口油位刻线的水平下，应马上添加机械泵油，如果观察到机械泵窗口油颜色变深，应马上更换机械泵油。若机械泵出现故障要及时修理，并换上备用泵，以保证真空度。
　　6、循环水的维护
　　定期检查扫描电镜循环水状况，水位低于警戒线，应马上添加纯净水，若循环水混浊变质，应马上更换循环水，防止循环系统堵塞和结垢，影响水循环系统的工作效率。