扫描电镜和透射电镜的工作原理

扫描电镜和透射电镜的工作原理

从相似点开始, 这两种设备都使用电子来获取样品的图像。他们的主要组成部分是相同的;  

· 电子源;

· 电磁和静电透镜控制电子束的形状和轨迹;

· 光阑。

所有这些组件都存在于高真空中。  

现在转向这两种设备的差异性。 扫描电镜（SEM）使用一组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子（ 详细了解SEM中检测到的不同类型的电子 ）。

而透射电镜（TEM）是使用透射电子，收集透过样品的电子。 因此，透射电镜（TEM）提供了样品的内部结构，如晶体结构，形态和应力状态信息，而扫描电镜（SEM）则提供了样品表面及其组成的信息。  

而且，这两种设备zui明显的差别之一是它们可以达到的zui佳空间分辨率; 扫描电镜（SEM）的分辨率被限制在〜0.5nm，而随着zui近在球差校正透射电镜（TEM）中的发展，已经报道了其空间分辨率甚至小于50pm。