快速区分单层与多层石墨烯
激光源:532nm。
物镜:100X,NA=0.9。
光谱数:67,600(400*169)。
测量时间:5分30秒。
通过高速高分辨拉曼成像技术,可以对不同层数的石墨烯快速成像。
以350纳米的高空间分辨率,仅用5分钟的测量时间即可识别从单层到四层的石墨烯及其分布。[1]
材料应力分布
图像分辨率:320(x)×400(y)=128,000 Spectra。
成像时间:16分钟。
通过高速高分辨拉曼成像技术,可以探测到晶体结构的扭曲,如硅材料等。硅的Raman峰位于520cm。硅单晶中由于应力的作用,会造成晶格结构的偏离与扭曲。右图通过测量Raman峰的偏离,进而给出了硅单晶表面应力的分布。[2]
无损伤材料组分剖面分析
图像分辨率:300(x)×120(z)=36,000 Spectra。
成像时间:8 分钟。
右图是通过高速高分辨拉曼成像技术的无损探测技术,对多层膜进行的深度剖析。通过联用共聚焦光学系统与面扫描技术,可以成功地探测到深度图像。[3]
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