发布时间:2023-01-03 13:04 原文链接: 接触式干涉仪的功能介绍

中文名称

接触式干涉仪

英文名称

contact interferometer

定  义

应用干涉原理接触测量微差尺寸的长度计量仪器。

应用学科

机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),光学计量仪器(三级学科)