发布时间:2021-10-12 15:45 原文链接: 提高氦质谱检漏仪灵敏度方法

  1、尽量开大节流阀。

  2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后,关闭工件与外接泵之间的阀门)。

  3、将工件用塑料袋包扎,袋内再充入氦气,(但此法不能测出具体漏点)。

  4、使用液氮,全开节流阀,采用不分流检漏,必要时可将抽速阀关小。