无机质谱仪是质谱仪中的一大分类，与有机质谱仪不同的是主要以电感耦合高频放电(ICP)使被测物质离子化的质谱仪，主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面，应用广泛。无机质谱仪是较精密的仪器，需要平时经常维护保养，减少故障。
1.定期进行机械泵振气，ESI源每周一次，APCI源每天一次。
2.每周检查一次机械泵状况。
3.定期更换机械泵油，一般情况下，连续工作125天更换一次。当泵油明显变色或液面下降至1/2以下时需要立即更换。
4.当出现堵塞、灵敏度下降时，需要清洗探头尖，更换毛细管。
5.当电晕放电针(APCI)看上去已腐蚀、变黑或灵敏度下降时需要及时清洁
6.当采样锥孔和挡板明显变脏、变黑或灵敏度下降时及时清洗，若清洗完采样锥孔后灵敏度仍低时则需要清洗萃取锥孔、离子座和六极器。
