无油干式真空泵的工作原理和应用

应用范围：

无油真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

[1]低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

[2]半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀 性气体和研磨微粒；

[3]除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要 求；

[4]在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

[5]用做一般无油清洁真空系统的前级 泵，以防止油污染。

工作原理：

无油活塞式真空泵又名【干式机械泵】，意思是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。