日立场发射扫描电镜荣获“IEEE里程碑”奖

　　日前，为表彰1972年由日立制作所开发出的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）的实用化功绩，电气和电子工程师协会（IEEE）授予其场发射扫描电子显微镜“IEEE里程碑（IEEE Milestones）”奖。据悉，该奖由日立制作所与其旗下从事电子显微镜制造、销售业务的日立高新技术（Hitachi High-Technologies）联名获得。

　　电气和电子工程师协会（IEEE）总部在美国纽约市，是一个国际性的电子技术与信息科学工程师的协会，是当今全球最大的专业技术协会。而“IEEE里程碑“奖设立于1983年，主要用于表彰那些在电气、电子、信息及通信领域的革新中，自开发后历经25年以上仍被公认为对社会及产业发展有巨大贡献的历史伟业。

　　1968年，日立与芝加哥大学原教授Albert V. Crewe博士（1927-2009年）合作，将Albert V. Crewe博士开发的FE电子源实现实用化，并于1972年将其配备在扫描电子显微镜上，研制成了世界第一台商用FE-SEM――HFS-2型。HFS-2型操作简单，能够以高稳定度和可靠度观察高分辨率图像。此后，日立又将该技术拓展推出测长扫描电子显微镜（CD-SEM），用于半导体生产线的过程控制，为当时的半导体器件微细化做出了贡献。同时，日立推出的FE-SEM在全球首次成功观察到了爱滋病病毒电镜图像，为医疗保健及生物科技领域的进步做出了贡献。并且，日立还将FE-TEM应用到电子线全息技术，实际验证了阿哈罗诺夫-玻姆效应（Aharonov-Bohm effect），对科学技术的验证及发展也做出了重要贡献。

　　2001年，日立制作所将其旗下的测量仪器集团和半导体制造设备集团分拆出来，与其贸易集团Nissei Sangyo公司合并为一家新公司――日立高新技术公司。目前，日立高新技术公司主要负责电子显微镜的制造、销售等业务。因此，此次的“IEEE里程碑”奖同时颁发给了日立制作所与日立高新技术公司。