日立高新正式推出扫描电镜SU7000,实现高通量观察与分析

　　2018年7月31日，日立高新技术公司（以下简称“日立高新”）正式推出肖特基场发射扫描电镜SU7000，它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现了高通量的观察与分析。

SU7000

　　扫描电子显微镜（SEM）可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号，获得从微细结构到组成成分等各种信息，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大，对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。

　　此次推出的SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离（工作距离／以下简称WD），以设置最佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。

　　而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。

　　它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。

　　日立高新技术将在8月5日（星期日）~8月9日（星期四）在美国马里兰州举办的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日（星期三 ）~9月7日（星期五）在幕张展示中心（千叶县千叶市）举办的“JASIS 2018”上展示这款SU7000，预计每年全球销量有望达150台。

　　日立高新技术科学系统事业部以2020年成为电子显微镜行业全球第一为中期战略目标，今后仍将全力推动产品研发与市场推广，努力为全球制造业作出更大的贡献。作为最先进、最前沿的事业创新型企业，今后以成为提供高新技术和解决方案的全球一流企业为目标，始终站在客户的立场，快速满足客户和市场需求。

【主要特点】

　　1．在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线荧光分析

　　2．最多可同时实现6通道检测与显示

　　3．在最大像素10240 x 7680时，也可获得图像数据

　　4．同级别*设备中最多的可配置18个附件接口

　　5．支持最低300Pa的低真空模式（选配）

　　*空间分辨率在1 nm/1 kV以下

【主要规格】

产品咨询

　　日立高新技术（上海）国际贸易有限公司北京分公司

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