日立高新SU8000系列超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8010／SU8020／SU8030／SU8040

日立高新SU8000系列超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8010/SU8020/SU8030/SU8040
日立高新技术公司
日立

日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜，由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护，收到了各界用户的一致好评。

日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010，它继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。

特点：

1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm

2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品

3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

在半导体、电子、催化剂、功能材料、生物技术、医药等纳米技术领域，全球范围都在致力于研究具有核心竞争力的下一代尖端技术。在纳米技术领域，超高分辨场发射扫描电子显微镜已经成为用于观察材料精细表面结构的一个必不可缺的工具。
日立高新技术公司开发出了完全满足于未来市场需求的SU8010超高分辨场发射扫描电子显微镜。
SU8010场发射扫描电子显微镜具有卓越成像功能，可提供不同的样品台，样品室以及信号检测系统，以满足用户对超高分辨电子显微镜的各种特殊需求。

特点：

超高分辨率成像功能和超低加速电压性能(1.0 kV时，分辨率可达1.3 nm)

信号探测范围广

用户友好型GUI，宽屏显示器，操作简单舒适

可选件范围广，以便满足用户的特定需求

 

日立高新超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8000系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8000 Series，SU8010，SU8020，SU8030，SU8040）具有共同的卓越功能，诸如超高分辨率技术（1.3nm/1.0kV），信号探测系统范围广，可操作性强，便于用户操作等。

 

日立高新超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8000系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8000 Series，SU8010，SU8020，SU8030，SU8040）提供不同的样品台，样品室以及信号探测系统，满足用户对超高分辨率显微镜的特定需要。

 

超高分辨率成像功能

分辨率： 1.0nm / 15kV, 1.3nm / 1kV

倍率：80x ～ 2,000,000x

信号探测范围广

多用户型，用户友好型操作界面

各种样品台，样品室以及配置系统，满足用户对未来超高分辨率显微镜的特定需要。

二次电子分辨率	1.0nm（加速电压15kV、WD＝4mm）
1.3nm（加速电压1kV、WD＝1.5mm）
加速电压	0.1～30kV
观测倍率	20～8000,000(底片输出)
60～2,000,000（显示器输出）
样品台
马达驱动	3轴马达
5轴（选配）
行程	X	0～50mm
Y	0～50mm
Z	360°
T	-5～70°
R	1.5～30mm
zei大装载尺寸	100mm（zei大）
150mm（选配）
探头
标配	Lower	高立体感图像
Upper	高分辨SE、BSE图像
选配	STEM	明场像、暗场像
YAG 探头	BSE图像
半导体探头	BSE图像
EBIC	电子束感生电流图像
EDS	元素分析
反污染措施
冷指	标配
物镜光阑	内置自清洁功能
电子枪	内置加热器
真空系统
离子泵	3台
分子泵	1台
机械泵	1台

 

项目			内容
二次电子分辨率			1.0 nm(加速电压 15 kV, WD=4 mm)*1 1.3 nm(着陆电压 1 kV, WD=1.5 mm)*1
放大倍率	低倍模式		20～2,000×(照片倍率)*2
			80～5,000×(显示倍率)*3
	高倍模式		100～800,000×(照片倍率)*2
			400～2,000,000×(显示倍率)*2
电子光学	电子枪		冷阴极场发射电子枪
	加速电压		0.5 kV ～30 kV(标准模式)
	着陆电压		0.1 kV ～2.0 kV(减速模式)
	物镜光阑		可动光阑(加热型), 真空外4孔转换及微调
电位移			±12 µm (WD=8 mm)
样本台	样品台控制		3轴马达驱动
			5轴马达驱动*4
	可动范围	X	0～50 mm
		Y	0～50 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm
	zei大样品尺寸		φ100 mm (zei大)
			φ150 mm*4
检测器系统	二次电子检测器		低位检测器/高位检测器
			SE/BSE 信号可变模式(高位检测器)
	背散射电子检测器		半导体背散射电子检测器*4
			背散射电子检测器(YAG)*4
	透射电子检测器		BF-STEM检测器*4
			BF-STEM 光阑*4
			DF-STEM 样品托*4
	其它		能谱仪*4
			法拉第杯*4
			电子束感生电流检测附件(EBIC)*4

• *1：

• 用本公司样品拍的SEM像测量zei小颗粒间的夹缝

• *2：

• 127 mm×95 mm(照片尺寸 4“×5“)

• *3：

• 345 mm×259 mm(1,280×960 像素)

• *4：

• 自选配件

SU8010冷场发射扫描电子显微镜技术规格

1. 工作条件：

1.1 电力供应：220V（±10%），50Hz。

1.2 工作温度：15°C-20°C。

1.3 工作湿度：< 60%。

1.4 仪器运行的持久性：仪器可连续使用。

2. 设备用途：该电镜主要用于材料的微观表面观察与成份分析, 包括纳米结构材料的观察和表征。此外，还要求对一些容易受电子束损伤的样品和导电性非常差的样品可以在低加速电压和进行直接观察。

3. 技术规格：

该设备为先进的表面分析仪器，其由主机(包括电子光学系统、检测器系统、真空系统等)，自动变压器，冷却循环水系统，计算机，标准工具及附件组成。

*3.1电子光学系统：

*3.1.1 分辨率： ≥1.0nm (加速电压15kV，工作距离4mm)

**≥1.3nm (照射电压1kV，使用减速装置)

3.1.2 加速电压：zei低  0.1kV； zei高 30kV；

3.1.3 放大倍数：zei小 ≥20倍； zei大≤ 80万倍（底片模式）

                zei小≥80倍； zei大≤200万倍（显示器模式）

可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率

**3.1.4电子枪：冷场发射电子枪

3.1.5电子束流： ≥1pA，且连续可变

3.1.6 对中：自动

3.1.7 聚焦：自动聚焦、带有手动聚焦

3.1.8 像散：自动，带有手动控制调节

**3.1.9 物镜光栏：内外加热自清洁式，四孔，可移动物镜光栏

*3.1.10工作距离：zei小≥1.5mm，zei大≤30mm

**3.1.11 电位移：≥12um (WD=8mm)

3.2 样品室：

3.2.1 样品台： 3轴自动马达驱动 

3.2.2样品移动：X方向≤50mm；Y方向≤50mm；Z方向≤25mm；R = 360°连续旋转

3.2.3 样品倾斜角： -5～ +70°

3.2.4 样品防撞警报装置：有

**3.2.5配备样品交换仓，通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程，具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落。

样品zei大尺寸：≤100mm

3.3检测器：

**3.3.1 二次电子检测器： 配有高位以及低位二次电子探测器，高位探测器可选择接受二次电子像或背散射像，并以任意比例混合，在低压下（小于2kV）可以成背散射电子像。

3.4数字图像记录系统

3.4.1 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告

3.4.2 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等

3.4.3扫描速度：

 **TV扫描 (640 ´ 480 pixel显示, 25/30 祯/s)

快速扫描(全屏显示, 6.25/7.5 祯/s)

慢速扫描(全屏显示, 1/4/20/40/80 s/祯)(640 ´ 480 显示, 0.5/2/10/20/40 s/祯)

*3.4.4 图像显示：不低于1280×960像素

*3.4.5 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素

3.4.6 图像类型： TIFF, BMP或JPEG

3.5控制系统

提供完整的系统操作控制系统。

*3.6 真空系统：

**3.6.1真空泵:机械泵，涡轮分子泵（磁悬浮型），离子泵

*3.6.2 真空度：电子枪部分优于10^-7Pa；样品室部分优于10^-4Pa

3.6.3 保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统

*3.6.4 真空计：潘宁规×1，皮拉尼规×2

*3.6.5防污染装置：液氮冷阱

**3.6.6样品更换时间：≤1分钟

3.6.7带“**”号指标为科研需要必须满足指标，否则视为不响应。提供原生产厂家（或国内总代理）授权书，并提供省内和国内同型号产品用户名单及厂家原版彩页为评标依据，原装进口。

4.仪器配置、附件及工具

4.1 配置要求

场发射扫描电镜主机                                  1套

自动变压器                                          1套

冷却循环水系统                                      1套

标准随机附件及工具                                  1套

4.2  标准随机文件

操作系统恢复盘 CD-ROM                               1件

测试报告                                            1件

软件 CD-ROM                                         1件

安装手册                                            1件

5. 技术服务：

5.1 设备安装、调试和验收

5.1.1卖方应在合同生效后的1个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询。

5.1.2 仪器到达用户所在地，在接到用户通知后一周内进行安装调试，直至通过验收。

5.2 技术培训：在用户所在地对用户进行为期1周的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。验收后半年内组织买方相关人员2人参加在厂家举办的相关应用培训班。

5.3 保修期：卖方提供一年的免费保修,保修期自仪器验收签字之日起计算。保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。

5.4 维修响应时间：卖方应在72小时内对用户的服务要求作出响应，维修服务包括电话指导和现场维修。

5.5 要求供货商在中国设有三个以上固定维修站，并配有专业维修工程师，保证提供及时优质的售后服务。

5.6 要求供货商在国内设有自己的电镜应用中心。

5.7.交货时间：合同生效后五个月