(1)椭偏法测量的优点—能测量很薄的膜(1nm)，且精度很高，比干涉法高1~2个数量级。
(2)椭偏法测量的优点—是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其他精密方法如称重法、定量化学分析法简便。
(3)椭偏法测量的优点—可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收率。因此可以作为分析工具使用。
(4)椭偏法测量的优点—对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感，是研究表面物理的一种方法。
