汞灯的光谱

横坐标是波长，纵坐标是光幅（强度）。
关于X光，汞灯光谱中包含有X光，但强度已经很小了，达不到应用水平。其实可以看到，KrF,ArF的强度也不大，所以在早期i线的光刻机上用的是汞灯，而DUV的光刻机用的是准分子激光。
实验室中的汞灯一般为线光谱，主要谱线波长为： 。