固体、液体、气体、半导体等工作物质都可以做成波导激光器，其中较为成熟的是CO₂波导激光器。
CO₂激光器的波导管是内径很细（约1nm）、内表面很光滑的空心导管，可以是圆形或方形，通常用氧化铍（BeO）陶瓷做成。波导管只允许低阶模通过，对高阶模的损耗很大，故输出激光的光束质量很好。CO₂波导激光器的工作气体是CO₂，辅助气体为N₂、He、Xe，工作气压高达上百托。
由于气压高，增益大，每立方厘米激光工作物质输出功率可达10瓦以上，是普通CO₂激光器的25倍，为器件小型化提供了条件，即小型化是CO₂波导激光器的一个特点。
连续CO₂波导激光器的典型数据为：圆形波导管，内径1.5mm，放电长度195mm，平凹谐振腔，输出镜透射率8%，气压比CO₂∶N₂∶He∶Xe=1∶0.9∶3.6∶0.3，输出激光功率达4.1W。