波谱仪和能谱仪各有什么优缺点？

能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。

　　波谱仪是利用波谱法对物质的成分和结构进行分析的仪器，包括X射线波谱仪，核磁共振波谱仪等。

　　能谱仪具有分析速度快，灵敏度高，谱线重复性好的有点；也具有能量分辨率低、峰背比低，要求严格的缺点。

　　波谱仪的优点是波长分辨率高，但由于结构特点，波谱仪想要有足够的色散率，其聚焦圆的半径就要足够大，而这会导致X射线光量子的收集率降低。