洁净室的检测应明确其占用状态,状态不同,检测结果也不同。按照《洁净厂房设计规范》(GB 50073-2001)的规定,洁净室检测分为三种状态:空态、静态和动态。
(1)空态 设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。
(2)静态 设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员。
(3)动态 设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状态下进行工作。
对于洁净室工程的竣工验收,我国《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)中明确规定,检测和调整应在空态或静态下进行。这一规定更能及时客观地评价工程的质量,还能避免因不能如期实现动态而发生工程收尾的纠纷。
在实际竣工检测中,静态居多,空态罕见。因为洁净室内的工艺设备有些必须提前就位。在洁净度检测前,对工艺设备需进行认真擦拭,以免影响测试数据。2011年2月1日施行的《洁净室施工及验收规范》(GB50591一2010)中的规定更为具体:“16.1.2检验时洁净室的占用状态区分如下:工程调整测试应为空态,工程验收的检验和日常例行检验应为空态或静态,使用验收的检验和监测应为动态。当有需要时也可经建设方(用户)和检验方协商确定检验状态。”
对于综合性能评定的检测状态,我国《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)中规定,应由建设单位、设计单位和施工单位三方协商确定。这一规定对洁净室施工单位很公平,通过三方共同协商,确定出满足产品质量要求的检测状态。若定为动态检测,则洁净室内的工艺设备、人员的操作程序、工作服等均应符合洁净室内的要求。这些因素是洁净室施工单位不可掌控的。经常出现竣工验收合格的洁净室,由于工艺设备及人员服装等因素不符合洁净室的要求而出现检测效果很差的现象,即动静比太大。可见,洁净室动态使用效果与许多因素有关,这就需要由建设单位、设计及施工单位共同努力,才能建造出真正合格的洁净室,来满足用户对洁净室动态的使用要求。
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