涡流测厚仪测厚
利用仪器上的专用探头放在氧化过的表面上,膜的厚度可直接在刻度盘上读出。测量范围用0~50μm比较方便。
电压击穿法
用专门的电压击穿器测出氧化膜的击穿电压值,在刻度盘上可直接读出氧化膜的厚度,或者对照表中查出。