| 仪器名称： | 光刻机 |
| 仪器编号： | 20004477 |
| 产地： | 中国 |
| 生产厂家： | SUSS Micro Tec Lithography Gmb |
| 型号： | MJB4 |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2020-06-09 |
| 所属单位： | 电子系>纳米光电子综合测试平台 |
| 放置地点： | 罗姆楼B1-304室 |
| 固定电话： | 62796594 |
| 固定手机： | |
| 固定email： | haosun@tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | 张秀华（010-62796594,13001178656,zhangxiuhua@mail.tsinghua.edu.cn） 孙皓（010-62796594,15910619833,haosun@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 工艺加工 |
| 技术指标： | 光刻机系统主机，包括机械、气动及电控装置；对准台；芯片厚度补偿系统；对准显微镜；紫外光曝光系统；光刻板及芯片夹具；光强计；真空泵；防震平台等。 光刻机是微电子及光电子器件关键的工艺设备，科研人员通过光刻工艺将掩模版上的图形显像到芯片的光刻胶上，在经过其他工艺如刻蚀、扩散等，最终在芯片上形成需要的图形结构，这样经过几次甚至十几次反复工艺，形成具有特殊功能的微电子光电子器件。 |
| 知名用户： | 清华大学电子系，物理系，材料系，微电子所，北京大学，北京理工大学，中科院物理所，浙江大学，南京大学，南京理工大学，厦门大学，深圳技术大学等 |
| 技术团队： | 仪器开放管理团队由一名事业编制教工主管、两名合同制人员协管及 3 名助教博士组成。 主管教工已在实验室管理仪器近 10 年，并自主搭建多套精密测量系统，有着丰富的设备管 理及仪器维护经验。两名协管人员在常规化仪器使用及测试管理方面有着较为丰富的经验， 也具备了一定的分析问题、解决问题的能力。3 名助教博士均有一年以上的研究及测试经历， 并将科研上的理论知识与实际仪器操作相结合，提高了动手能力的同时开拓了研究视野。 同时，测试工作由实验室资深的工程师或者技术人员进行操作和支援。 |
| 功能特色： | 主机：采用触摸屏幕操作的PLC控制系统；可进行工艺参数编程设定，工艺操作方便快捷。具有可靠的找平系统，对芯片厚度进行补偿，确保设备长期稳定可靠的工作. |
样品要求：
样品要求:与平台测试人员联系具体细节
预约说明：
实验室设备以组内学生做实验为主，空余时间对外开放，需要的老师同学们可以提前预约，根据设备空余时间进行安排做测试（送样检测为主）。
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 光刻机 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 660.0 | |
| 光刻机-送样测试 | 元/小时 | 测试费 | 1000.0 |
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