| 仪器名称： | 金相抛磨机 |
| 仪器编号： | 04009981 |
| 产地： | 丹麦 |
| 生产厂家： | Struers公司 |
| 型号： | TegraPol-15 |
| 出厂日期： | 200407 |
| 购置日期： | 200410 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺 |
| 放置地点： | 微电子所平房 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 马海艳（010-66668888,15911104624,mahaiyan@tsinghua.edu.cn） 胡杨（010-62798268,13810173486,hyang@tsinghua.edu.cn） 王谦（010-62794957,13810134838,wang-qian@tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 封装 金相抛磨 测试 |
| 技术指标： | 该设备使用不同颗粒大小的砂纸对观测样品进行打磨，打磨到观测界面时用抛光布进行表面抛光，样品表面粗糙度可达几十纳米。 |
| 知名用户： | 清华大学、北京大学等 |
| 技术团队： | 封装专区拥有相关先进仪器设备20余台套，多为进口设备，按功能主要分为：加工、测量/观察、环境可靠性测试及失效分析。部分设备面对校内外开放，可承担学校、科研单位和国内外企业的加工、测试及分析等技术服务与咨询。 |
| 功能特色： | 样品放于模具中通过环氧树脂固化完成制样，抛光样品截面，可供分析。样品种类：常见普通件、陶瓷件、金属件、硅片等 |
样品要求：
样品种类：常见普通件、陶瓷件、金属件、硅片等
预约说明：
封装工艺所有的设备均需要提前预约，预约前请联系设备管理员，讨论样品信息和预约时间，再在网上进行预约。
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 普通样品 自主上机机时费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 700.0 | |
| 陶瓷样品 自主上机机时费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 1200.0 | |
| 普通样品 送样测试费 | 元/个 | 测试费 | 700.0 | |
| 陶瓷样品 送样测试费 | 元/个 | 测试费 | 1200.0 |