温度范围(最大）：-150~1000℃
温度精确度：±1℃
最大样品尺寸-固体：26mm(L)×10mm(D)
静态测试：26mm(L)×1.0mm(T)×4.7mm(W)
测量精确度：±0.1%
灵敏度：15nm
位移分辨率：<0.5nm
动态基线漂移：<1μm(-100~500℃)
施力范围：0.001~2N
力的分辨率：0.001N
数字式质量流量控制器：标配
气氛(静态或控制流量) ：惰性、氧化或反应气体
